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第164章 浸入式光刻技術

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兜兜轉轉一圈下來,趙燁發覺再搞出三微米技術之前,他必須還要腳踏實地的搞出一個中間階段來。

直接上三微米,目前面臨的問題太多了。不是說硬上不行,而是就算做出來了,在應用上一系列的裝置根本就支援不了。

這就好比火車提速,不是說你的火車發動機功率足夠就可以了,你要想跑得快,從車廂設計,轉向架,車輪,鋼軌,彎道,線路,等等等等,都要符合提速後的要求才行。這些東西不支援,你光有一個發動機是不夠的。

第二代光刻技術如今已經很成熟了。

半自動化的操作,讓成品率保持在了一個能夠接受的範圍內。如今趙燁看著實驗室裡的這臺裝置,想的是一個投機取巧的辦法。說白了,就是把現在的幹法蝕刻,變成溼法蝕刻。

簡單來講,就是把要照射的矽晶片,浸到水裡。

水是種透明的液體,純淨的水,在一定溫度下,它的折射率是固定的。那麼把矽晶片放到水裡,在紫外光照射到矽晶片之前,要先經過水的折射。

只要控制好掩模和光照的方向,就能在現有的裝置基礎上,把製程工藝提高半步。

這樣一來,之前製程,就能進步到5微米上下了。

有了這個工藝方法,趙燁就可以在以後的技術升級中,佔有一定的優勢。

設想是好的,不過想要實現這個技術,難度也很大。

比如水是液體,在工作臺晃動的時候,水是會跟著動的,而且在工作臺停下來的時候,水是不會立刻就停止運動的。

這樣一來,如果光線照射下來,就會因為水的不均勻,似的折射角度發生極大的偏差。

所以這個時候,就要求工作臺不能移動,或者是說不能過多移動。

還有一種方法,是把液體的盛在一個密閉的容器裡,這樣就能避免液體的波動造成的誤差。

不過這樣一來,也有它的弊端,一是操作不便,效率低下。再者就是用於密封的容器,本身就可以看成一組鏡片。他的純淨度和折射率同樣是不規整的。

假如可以做出純淨度和折射率都很完美的玻璃,那直接做透鏡組就好啦,幹嘛還用來做容器呢?這就是多此一舉了。

用水,本身就是利用了純淨的水容易加工這一特性,再給它加個蓋子,那才是脫了褲子放屁,多此一舉呢。

趙燁一個人蹲在實驗室裡,連著好多天都在看著這臺裝置發呆。

周圍的人很多都不怎麼認識趙燁,對他的研究風格非常好奇。

可是這些人註定是失望的,趙燁在眾人眼前就是這麼蹲著,一點多餘的行為都沒有。

既看不到趙燁做驗算,也看不到趙燁畫圖紙。大家不免對趙燁的行為有了不好的猜測。也就是他過去的光環太耀眼了,否則說怪話的人肯定是少不了的。

就這樣過了幾天,一早來上班的人發現趙燁終於不再盯著那臺光刻機看了。

因為他已經把這臺機器給拆的七零八落。零零碎碎的各種零部件就擺放在一張帆布上。

“趙副處長,您怎麼把這臺裝置給拆了?這可是要用來做實驗的,咱們八號實驗室就這麼一臺呀!”一個小頭頭見到這樣的場景,跑過來就指責趙燁。

趙燁只是看了對方一眼,並沒有多說話。

“趙副處長?你聽到我說話了嗎?你這個態度……”

“行了,行了。我聽見了,責任我來負,你不用管。”趙燁見那人還想再說什麼,終於忍不住打斷了對方的說話。

“趙副處長,我們今天的實驗可就沒法再做了,完不成任務進度,這可不是我們的責任!”那個小頭頭立馬就甩鍋道。

“嗯,知道了。你去忙你的吧,另外你們的實驗任務我知道,這樣,你們小組今天就寫總結報告,那個實驗任務不用再做下去了。一會兒我給你們新的任務。”趙燁的話更不客氣,說白了,那人只是一個小組長,還沒有資格教趙燁做事。再說了,他怎麼進來這個實驗室的,趙燁心裡一清二楚。

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他確實是沒有權利讓他走人,不過,既然是進來了這裡,服從上級管理和工作安排,這個是最起碼的要求吧,總不至於這個都不行吧。

很抱歉,趙燁是這裡的最高領導者。

那個說話的小組長當場就有些石化了,說真的,他們的實驗任務都做了小半年了,不說順風順水吧,起碼思路是已經有了的。剩下的就是熬時間,做驗證,直到最佳的方桉被選出來。

可是現在,趙燁輕飄飄的一句話,他們這半年的心血就已經打水漂了。

趙燁是領導不假,可是他們也是有脾氣的呀!

“趙副處長,我們小組需要一個解釋!你不能隨隨便便就停掉我們的實驗工作,這裡面包含了我們…”

“行了行了,我知道你想說什麼,是包含了你們半年多的心血是吧?”趙燁被人說的有些煩躁了,他放下手裡的工作站起來,隨手在自己的辦公桌上拿起一疊檔案,遞給了對方。

“這是我弄出來的實驗結果,配方和生產工藝流程都寫在了上面。我就納悶了,一個這麼簡單的東西你們弄了半年,你確定你是來這裡搞研發的?不是來混日子的?”

小組長沒有說話,只是拿著趙燁寫的東西仔細的看。

說實話,他沒太看懂。

不過沒看懂也不能表現出來呀!他裝作很認真的樣子,一頁一頁的翻看著趙燁給的資料。

趙燁撇了他一眼,就繼續忙自己的事情。

等趙燁這邊都進行了好一會兒了,那人又找了過來。

“趙副處長,我們剛剛驗證了一下你給的方桉,我說話直啊,我們覺得這個方桉完全沒有可行性。”

“你們做了驗證實驗?”趙燁一邊忙手裡的事情,一邊跟對方說這話。

“是的。”

“這麼快就做完了?”

“嗯!這個驗證一下不是很困難。”

“哦,那我問你,你選擇的是哪種催化劑?”

“嗯?催化劑?”小組長愣了一下,完全沒料到趙燁會問他細節,主要是他知道個屁的細節啊。整個化學小組,只有一個能做實驗的,而且這個人還不是他。

“對呀,你用的哪種?”趙燁依然一邊忙手裡的事情,一邊跟對方說話。

“這個,我去問一下!”小組長憋了半天,蹦出來這麼幾個字。

說完,轉身就要走。

“等等,我讓你走了嗎?你是化學小組的組長,現在我問你實驗過程呢,你還要去問誰?你不會連實驗都不會做吧?”

“我,我是不會做實驗,可是,可是我是行政幹部,不需要…”

“不需要直接做實驗對不對?”趙燁又撇了他一眼,然後說道:“可是我看了財務記錄,你每個月都領著實驗室的實驗津貼,還有各種實驗室的補助,那我想問你一句,你一個行政幹部,為什麼要領這個配發給一線研究員的補助呢?”

“趙副處長,我雖然是行政幹部,但我也是在一線工作的呀!我領這個補助,也是經過了廠裡認可的。”小組長辯駁道。

“呵呵,有道理啊。不過那是以前的做法,既然現在實驗室是我負責,這個規矩就要改一改了。你以後要麼就參與實驗工作,要麼就不用進實驗室了。我還從來沒見過,一個行政幹部覥著臉領研究員才能拿的實驗室補貼的。”

趙燁絲毫沒有給對方留面子,他知道這個傢伙有背景,他也不關心他背後的人是誰,敢在他的實驗室裡亂搞,趙燁肯定不能留著他的。

“你這可越界了,趙副處長。我的工作安排是廠委決定的,不是你趙副處長決定的。”小組長這個時候那裡不清楚自己被趙燁給針對了!不過他是李副廠長的人,他相信,趙燁肯定不會駁了李副廠長的面子的。

“既然是廠委決定的你的工作安排,那你現在就可以去廠委領取新的工作了。”

正在說話間,一個聲音就從他們背後響了起來。

趙燁都沒回頭,就已經聽出了是張委員的聲音了。

張委員是什麼人?剛剛聽了那麼幾句就知道這是一個濫竽充數的傢伙。

這樣的人進了實驗室,難怪這個實驗室的產出越來越差了呢。

“李廠長,我…”小組長不認識張委員,但他認識現在張委員身後的李副廠長。

剛想說幾句話,可是李副廠長一下子就打斷了他的話頭,然後說道:“錢組長,你現在就去交接一下工作,然後去廠委報道吧。”

“啊!我。”錢組長驚訝壞啦,這個李副廠長怎麼回事兒?怎麼裝作不認識自己的樣子呢?

“你怎麼了?還有事兒?”李副廠長又一次打斷了對方的話,他心裡惱火的要命,以前怎麼沒看出來,這傢伙這麼蠢啊!

在李副廠長殺人的目光中,那個錢組長終於意識到了什麼,趕緊脫離這幫人的視線,不知道跑到那裡去了。

“趙燁,怎麼樣?有什麼想法嗎?”張委員說話,還是比較親切的。

“有了一些,不過張委員啊,我就是渾身是鐵也打不了幾顆釘呀,我們現在太缺人手了。”

“缺人手?”張委員環顧一週,看看周圍站著的一圈人,又把目光放到了趙燁身上,那意思好像再說,這些不是人麼?

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