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第一百三十九章:晶圓切割裂紋異常

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陽光正好,微風不燥。

姜華邁著六親不認的腳步,徑直走到了吸菸區,朝著潔白的牆壁一靠,用牙齒咬了一根香菸,將雙手插在了褲兜裡,腦袋不時擺動一下,眼睛東瞅瞅西望望,一副痞帥的樣子。

這個工廠隊伍最龐大的是生產部,作為前道主管,他可是生產部的老二。

老二就要有老二的樣子,最近他無形之中養成了走路的時候六親不認的習慣,抽菸的時候也懶得用手,就用牙齒咬著一直抽,香菸燒到嘴巴邊了,他就往後拉一下嘴唇,露出一排已經被燻黃了的牙齒。

“老同學,有啥事呢?”姜華歪著腦袋問道。

“昨天安排工程技術人員用假片做工藝驗證,也不知道情況怎樣了?”辛佟用手指彈了彈菸灰說道。

“等會咱們一起去車間看看!”

“我隱約感覺這個專案並不簡單,摩托羅拉的專案,我們千萬不能掉以輕心。”辛佟抬起頭仰望著蔚藍的天空說道。

“下一週客戶來晶圓了,是驢子是馬,拉出來熘熘就知道了。”

抽完煙,二人徑直來到了晶圓減薄車間。

現場只有一名工藝技術員在場,姜華一把就將他抓住了:“昨天安排你們工藝做驗證,你們有做過150μm減薄驗證嗎?”

“姜老大,我們昨天做過一片,減薄沒有發現問題,不過聽說切割的時候出現了裂紋,羅高工找到謝老大,他們正在討論問題的對策。”

“是嗎?”辛佟心中一緊。

以前車間減薄只做到過220μm,不過那是做給消費類電子產品的,MPC5200是車規產品,對可靠性要求高,越薄就越容易散熱,沒有想到150μm減薄出問題了。

還好,這只是假片驗證,要是直接拿客戶的實驗片驗證,估計很快就會把實驗片用完了,重新申請實驗片走流程跑物流起碼要耽擱一個月時間。

“走,謝工肯定在工程部,上工程部找他去!”姜華說道。

辛佟點了點頭。

工程部會議室裡,羅高工果然正在討論技術問題。

“辛經理,你來得正是時候,我們正在討論摩托羅拉專案切割裂紋的事情。”羅高工衝著辛佟招了招手。

辛佟點了點頭,找了一個位置坐了下來。

“我們已經改成兩刀切割了,切割對晶片的應力已經降低到最低水平了,沒有想到圓片還是出現了裂紋。”WS天王謝劍風情緒有點失落。

“謝工,兩刀切割的工藝成熟嗎?”羅高工問道。

“我們用這個工藝切割220μm的晶圓,沒有一點問題,對比實驗表明還是跟晶圓的厚度有關,跟切割工藝無關。”謝劍風說道。

辛佟抬頭看了他一眼,心想這謝工功課做得還是挺紮實的,不愧是天王級別的技術高手。

“這麼說來,應力還是來自於減薄工序,那麼我想問你,你有測量過減薄後晶圓的翹曲度嗎?”羅高工問道。

辛佟投過去崇敬的目光,羅高工的邏輯推理能力真是太強大了,因為晶圓產生應力後肯定會有蛛絲馬跡可查的,輕微變形肯定跑不掉。

“老大,我們測量過的,圓片翹曲度差不多到了400μm!”謝工回答道。

辛佟暗自感嘆,真沒有想到謝工也考慮到減薄的應力了啊,天王就是天王,不過400μm是不是有點大了?

“220μm晶圓減薄後的翹曲度你量過嗎?”辛佟抬起頭問道。

“不瞞你說,220μm的晶圓我們也量測過,翹曲度在200μm左右!”謝工回答道。

這麼說問題的根源就是晶圓的翹曲度了!

如何降低晶圓減薄之後的翹曲度呢?

辛佟靈光一閃,突然想起了斯米克晶圓廠的張凱峻,這個畢業於青華大學的晶圓工程師肯定知道。

他掏出了波導手機,手指點選了幾下,給張凱峻發了一個短消息。

“這麼分析下來,晶圓切割裂紋的問題已經鎖定到了減薄工序!”羅高工說道。

“是的!”謝工點了點頭。

“減薄工序怎麼會帶來這麼大的應力啊?”羅高工反問道。

“這個回去還要從4M1E的角度排查一下!”謝工回答道。

“謝工,你們減薄使用的磨輪金剛砂顆粒直徑是多少?”辛佟抬起頭來問道。

金剛石顆粒直徑?這問題好專業啊!辛佟沒有幹過減薄,他是怎麼知道的?羅高工無比驚訝,難道辛佟是一個工藝天才?

姜華也非常震驚,老同學跟天王級別的高手討論起工藝問題,竟然一點兒也不落下風啊。

“目前我們減薄分兩次研磨,粗磨使用325#的磨輪,精磨使用900#的磨輪,換算下來,粗磨的金剛砂顆粒直徑為44μm,精磨的金剛砂顆粒直徑為15μm。”謝工對自己管控工序的工藝瞭如指掌。

辛佟“喔”了一下,手指在手機上一陣翻飛,將資訊發給了張凱峻。

“辛經理問得對,我也覺得減薄的問題可能跟磨輪的選擇有關!”經過辛佟的點撥,羅高工好像得到了某種啟示一般。

“我也這樣懷疑!”謝劍風說道。

“粗磨選用325#的磨輪,沒有錯,不過粗磨過後形成的損傷層大約為20μm左右,粗糙度約為1.5μm,精磨使用900#的磨輪,其損傷層大約為5μm左右,粗糙度約為0.5μm,這樣的高低不平紋路,會造成應力集中,使後續工藝劃片產生裂紋,我建議精磨採用2500#磨輪試試,假片做完之後測量一下翹曲度,如果翹曲度小於200μm,你們安排切割驗證。”辛佟非常自信地說道。

這個辛佟真是太逆天了,對減薄工序的瞭解絕對在謝劍風之上啊,羅高工聽了直點頭,說道:“很好!”

“好的,辛經理,我們按照你的要求再做一些假片驗證!”謝劍風點了點頭。

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他之前跟辛佟沒有交集,不過聽說過這個人,總覺得辛佟升職太快了,真沒有想到他竟然如此專業,今日一見,佩服得五體投地。

看著工程部老大和WS天王對辛佟的分析連連點頭,姜華也驚呆了,這麼說老同學的本領已經超過這些頂級高手了?

關鍵是他都沒有在晶圓減薄工序呆過一天啊!

昨天去減薄看了一眼,他就無師自通了?

從會議室裡出來,姜華拉住了辛佟,忍不住問道:“老同學,你不是幹鍵合出身的嗎?怎麼對減薄也這麼精通?”

辛佟笑了笑,要不是剛才諮詢張凱峻,他也一頭霧水。

不過,他不想將這件事告訴姜華,就隨便忽悠道:“鍵合工序是王者工序,你幹了鍵合再看其他工序,都很Low了。”

不是說隔行如隔山嗎?

老實說他姜華統管FOL所有生產工序,也看過減薄、切割、裝片和鍵合,發現不同的工序之間差異其實還挺大的。

“是嗎?”姜華心中是將信將疑。

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