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第一百三十二章:減薄厚度150um

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“咱們到車間去看看!”心中裝著新專案,辛佟不敢有絲毫馬虎。

工程總監Peter在會議室裡滔滔不絕談論的都是一些大道理,辛佟覺得要把專案做好主要靠細節。

細節決定成敗!

“好的!”姜華也將香菸熄滅了,扔進了菸灰缸,甩了甩一頭茂盛的頭髮說道。

從吸菸區回來,兩個人徑直來到了FOL生產車間的晶圓減薄作業區,這是整個封測工廠的第一道工序。

從Fab廠生產出來的晶圓,通體泛射著銀光,看上去跟一面圓鏡一般,可以照射出人的樣貌來。

通常來說,晶圓太厚並不好,不利於晶片散熱,而產品的可靠性通常都與熱應力直接相關,減薄後的晶圓可以提升晶片的可靠性。

正因為這樣,一些容易產生熱量的功率器件晶片,工程技術人員一直都在追求極致的薄。

不過封測廠接收到的晶圓,其厚度都會超標,厚度太薄的話,隨便震動一下都會碎了,不利於運輸安全,因此減薄是封測工廠的第一道生產工序。

辛佟走進去,發現這裡是一個獨立的潔淨室,靜悄悄的,好像世外桃源一般。

減薄潔淨室看上去面積差不多是鍵合車間的二十分之一,整個晶圓減薄研磨過程是在純水中進行的,並不會產生可以耳聞的噪音。

相比於鍵合車間裡那些ASM鍵合機,日本DISCO減薄機的體型就大好幾倍,顯得更加大氣磅礴。

體型高大的減薄機旁邊擺放著一排氮氣櫃,氮氣櫃有溫溼度監控裝置,也有氮氣流量監控裝置,在高純度的氮氣養護下,儲存於其中的已經開封和減薄完的晶圓得以完好無損。

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不過這也是一筆不菲的開支。

通常來說,從Fab廠生產出來的晶圓都是採用真空包裝的,以避免焊盤受到潮氣氧化,從經驗來講,晶圓的Floor Life是一週時間,超過一週,焊盤存在氧化的風險,鍵合的質量就要大打折扣,儲存於氮氣櫃中,可以延長晶圓的使用時間。

雖然在FOL工程部已經工作了一年多了,辛佟卻極少來這個潔淨室,現在提拔為了項目經理,他就有機會接觸到全工廠所有的生產工序。

這也是他夢寐以求的事情。

倒是姜華常來這邊,自從提升為FOL生產主管之後,他的領地擴大了不少,從晶圓減薄到鍵合,這些工序都劃歸給了他管轄。

這一道工序的工程技術是由貴為FOL四大天王的增長天王謝劍風負責。

“辛經理!”謝劍風朝著辛佟點了點頭。

他正在減薄工序做目視化管理工作,看見辛佟走了進來,主動走過來打了一個招呼。

“謝工,咱們這些裝置的工藝能力是多少?”辛佟開門見山地問道。

瞭解工序裝置能力,才能知己知彼,百戰百勝。

“辛經理,8寸晶圓厚度是725um,目前我們Disco減薄機減薄之後的厚度可以達到180um。”謝劍風對裝置工藝能力瞭如指掌。

180um?辛佟看過MPC5200的工藝要求,客戶的減薄厚度要求是150um。

“摩托羅拉專案的規格要求是150um!下週客戶指定的晶圓就要來了,咱們今天一定要討論出一個可行的方桉出來!”辛佟面有難色說道。

還好自己下車間走了走,要是不瞭解裝置的實際工藝能力,倉促上陣的話,這個專案一定會死得很慘!

“謝工,如果Disco裝置做不到的話,這個專案有可能就黃了!”姜華不無擔憂。

新專案的成敗主要看工藝!

“姜主管,不要這麼悲觀,我們工程部會想辦法提升減薄裝置能力的!”謝劍風一邊說,一邊拍了一下姜華的肩膀。

180um是舊產品的技術要求,裝置並沒有生產過150um的晶圓,是驢子是馬要拉出來熘熘才知道。

“謝工,目前減薄機效能最穩定的是哪幾臺?”辛佟問道。

利劍出銷方能斬妖。要想做得薄,只能靠工廠最好的機臺!

“3號減薄機臺!”謝劍風想了想,指著身邊的一臺裝置回答道。

“好的,這個專案的晶圓,我們今後就鎖定在3號機臺生產!”辛佟用手拍著3號減薄機,眼睛裡充滿了深情。

“你放心好了!”姜華說道。

“謝謝!”辛佟說道。

雖然指定了專機生產,不過工藝驗證的事情,辛佟覺得宜早不宜遲。

“謝工,今天你們從倉庫裡領一些假片出來先做DOE驗證!我們看看是否可以做到150um,客戶的晶圓畢竟數量有限,直接用客戶的晶圓做DOE驗證,萬一驗證失敗了怎麼辦?讓客戶重新發晶圓過來嗎?這樣我們整個專案週期至少要延後半個月。”辛佟臉上佈滿了陰雲。

透過鎖定效能穩定的機臺裝置,提前安排假片驗證,辛佟覺得這樣可以降低專案的風險。

很顯然,沒有下過基層的Peter對此毫無認知。

“辛經理,好的!”謝劍風點了點頭。

安排好工作之後,辛佟感覺渾身輕鬆多了。

“謝工,姜主管,我們一起去看看裝片工序吧!”辛佟說道。

“好的!”謝劍風點了點頭。

三人就出了減薄潔淨室,朝著裝片區域走去。

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